[11a-PB1-1~31] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[11a-PB1-1] 薄いAlGaN層をもつAlGaN/GaN ヘテロ構造における電気伝導特性の評価

〇森 琢馬¹、岩波 拓海¹、岡田 浩¹ (1.豊橋技科大)

キーワード：

窒化物半導体、ヘテロ構造、ホール効果