[11a-PB1-1~31] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[11a-PB1-4] ALD Al₂O₃/AlN界面の特性評価

〇魏 一迪¹、廣木 正伸²、平間 一行²、谷保 芳孝²、熊倉 一英¹、赤澤 正道¹ (1.北大量集センター、2.NTT物性研)

キーワード：

窒化アルミニウム