講演情報
[11a-PB2-2]時間分解エレクトロルミネッセンスによる4H-SiC PiNダイオードのキャリアライフタイム評価
〇リ トウ1、米澤 喜幸2、加藤 正史1 (1.名工大、2.産総研)
キーワード：
SiC、キャリアライフタイム、時間分解エレクトロルミネッセンス
4H-SiC PiNダイオードのキャリアライフタイムを把握するため、エピ層成長とAlイオン注入でp層を形成した試料に時間分解エレクトロルミネッセンス（TR-EL）測定を適用した。結果、イオン注入試料では欠陥発光由来の遅い減衰成分がライフタイム挙動に大きく影響することが判明した。本講演では、試料ごとに異なる再結合メカニズムを分離評価し、TR-ELの有効性を示した成果について報告する。