講演情報
[11a-PB3-10]振動型AlN圧電エナジーハーベスタ開発に向けたステンレス鋼基板上Pt(111)配向下地層の形成
〇天宮 巧登1、大口 裕之1 (1.芝浦工大理工)
キーワード：
拡散防止層、圧電薄膜、エナジハーベスタ
AlN圧電エナジーハーベスタの高出力化を目的に、高い破壊靭性を有するSUS304基板上でPt(111)配向下地層の形成を検討した。Ptの高温成膜ではTi–Pt相互拡散に起因すると考えられる不明ピークが出現したが、TiN拡散防止層の挿入により抑制され、Pt結晶性の向上が確認された。一方、非(111)配向の抑制には課題が残るため、現在、基板表面の平坦化によるPt(111)配向性の向上に取り組んでいる。