[11a-PB3-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[11a-PB3-4] HfO2-CeO2 系固溶体薄膜における相形成および分極挙動のサイズ効果

〇(M1)高野 桜¹、横田 幸恵¹、内田 寛¹ (1.上智大理工)

キーワード：

強誘電体、酸化ハフニウム、化学溶液堆積法