講演情報
[11a-S5-6]量子井戸インターミキシングによる多重量子井戸の構造・組成変化とパッシブ導波路としての特性
〇高張 真美1、上田 悠太1、鄭 源宰1、進藤 隆彦1、下小園 真1、西口 克彦2、中島 史人1 (1.NTT株式会社デバイスイノベーションセンタ、2.NTT株式会社物性科学基礎研究所)
キーワード：
量子井戸インターミキシング、半導体レーザ、多重量子井戸
光学的にアクティブな機能（光増幅）とパッシブな機能（透明な光導波路）を同一基板上に集積することで、その高性能化につながる。本報告では、イオン注入によるQWIにおいて、InGaAsP多重量子井戸（MQW）の構造および組成変化と、QWIによりパッシブ化した導波路としての損失や等価屈折率との関連性について検討した。