講演情報
[11p-A13-4]紫外線照射と熱処理のサイクルによる4H-SiC中のSSFの拡張挙動の評価
〇松井 大海1、森田 拓弥1、松下 洋介1 (1.株式会社アイテス)
キーワード：
シリコンカーバイト、欠陥、ショックレイ型積層欠陥
4H-SiC中のSSFについて、UV照射による拡張と熱処理による収縮を繰り返し、同一BPDを起点としたSSFの再拡張挙動を評価した。拡張開始放射照度の明確な低下は認められなかったが、同一照射条件でのSSF拡張面積は拡張と収縮のサイクルを繰り返すごとに増加した。