[11p-A13-1~9] 15.6 IV族系化合物（SiC）

15:15 〜 15:30奨励賞エントリー

[11p-A13-6] 光ヘテロダイン光熱変位法を用いた4H-SiCの局所的熱拡散過程の解析

〇原田 航陽¹、加藤 正史²、福山 敦彦¹ (1.宮崎大工、2.名工大)

キーワード：

熱拡散、物性評価、SiC