[11p-A21-1~12] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

14:45 〜 15:00

[11p-A21-4] β 型酸化ガリウム半導体用Ti/Pt/Au オーミック電極

〇大島 孝仁¹、大島 祐一¹ (1.NIMS)

キーワード：

酸化ガリウム、オーミック電極