講演情報
[11p-A21-9]ダイヤモンドFETの表面保護により安定化した3002時間DC連続動作
〇(M2)牟田 吉希1、サハ ニロイ チャンドラ1、江口 正徳2、嘉数 誠1,3 (1.佐賀大ダイヤモンド半導体研究センター、2.佐賀大シンクロトロン、3.（株）ダイヤモンドセミコンダクター)
キーワード：
ダイヤモンド
ダイヤモンドは，5.47 eVのバンドギャップを有する半導体で，大電力及び高周波用半導体として期待されている．ダイヤモンド半導体の実用化には，連続動作時における高い耐久性と動作安定性の確立が求められている．我々は今回，表面保護をしたFETで安定した3002時間の連続動作が得られたので報告する．