[11p-A24-1~6] 3.6 レーザープロセシング

15:15 〜 15:30

[11p-A24-6] 高温超伝導REBCOテープの高精度マルチフィラメント化に向けた超短パルスレーザースクライブの条件探索

湯本 正樹¹、〇吉富 大¹、衣笠 晋一¹、山室 悠香¹、高田 英行¹、原 英和²、片山 靖久²、廣瀬 清慈²、奈良崎 愛子¹ (1.産総研、2.古河電工)

キーワード：

超短パルスレーザー加工、高温超伝導、レーザースクライブ

REBa₂Cu₃O_7-x(REBCO)を用いた高温超伝導テープの交流損失低減にはマルチフィラメント化が有効であり、微細で低ダメージ・高スループットなレーザースクライブ技術が必要とされている。超短パルスレーザー加工によるパルスエネルギー・パルス幅・スキャン速度を主要パラメータとしたプロセスウィンドウ探索を行った。変質層形成に与える影響についても議論する。