[11p-A31-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

14:00 〜 14:15

[11p-A31-1] ダイヤモンドライクカーボン膜における表面層の形成因子

〇村岡 祐治¹、榎本 奨²、岳 強³、横谷 尚睦¹、脇田 高徳⁴、岡﨑 宏之⁵ (1.岡山大学術研究院、2.岡山大院環境生命自然科学、3.河南科技大、4.JASRI/Nano Terasu、5.量研)

キーワード：

ダイヤモンドライクカーボン、表面層、蓄熱

ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜の表面にsp²-rich層が形成される要因を調べた。その結果、室温で成膜しても、成膜時の蓄熱による温度上昇が表面層の形成を促進していることを、光電子分光測定、および熱伝導式とアレニウス則を組み合わせた解析により明らかにした。