講演情報
[11p-A31-5]磁場移動型磁気援用プラズマCVD法による小径円筒内壁へのDLC膜作製
〇(M2)佐向 亮1、赤坂 大樹1、王 鑠涵1 (1.東京科学大学)
キーワード：
DLC膜、小径管、プラズマ化学気相成長
磁気援用により，荷電粒子の衝突確率を上昇させ，小径円筒内壁にプラズマを発生させてダイヤモンド状炭素(DLC)膜を形成できることを示した．一方，磁束線に沿って膜の厚さに分布があった．この時，磁気の印加部の近傍のみにプラズマが発生すると考えられ，この為本研究は円筒の外側の磁石を移動させ，磁気の印加部のみ局所的にプラズマを発生させ，ＤＬＣ膜を形成し，均一な膜を長尺円筒内に形成する事を試みた．