講演情報
[11p-A31-7]DLC成膜時のH₂およびN₂混合が膜特性と液体識別性能に及ぼす影響
〇(M2)萌出 大道1、赤坂 大樹2、青野 祐美3、針谷 達4、向山 義治1、安部 智子1、平栗 健二1、大越 康晴1 (1.東京電機大、2.東京科学大、3.鹿児島大、4.岐阜大)
キーワード：
非晶質炭素薄膜（DLC、電子舌、液体識別
本研究では，CH₄にH₂またはN₂を混合して成膜したDLCの光学特性，電位窓，液体識別性能を評価した．N₂混合ではkが増加してsp²領域の寄与が高まり，日本酒のSVM分類精度は90%であった．一方，H₂混合ではnが増加し，電流応答は小さいものの，日本酒や醤油など液体種によらず同一の電流レンジで測定可能であった．以上より，N-DLCは識別性，H-DLCは測定レンジの安定性に優れることを示した．