講演情報
[11p-B21-8]機械学習ポテンシャルを用いた Mo-ALD 向けプリカーサーの計算検討
〇玉置 直樹1、永井 総雅1、佐藤 登1、筑根 敦弘1、霜垣 幸浩1 (1.東大工)
キーワード：
ALD、配線、プリカーサー
微細化する半導体デバイスの配線において、細線効果の小さいMo配線への代替が進んでいる。デバイスダメージの懸念の低い、ハロゲン元素を含まない複数のMoプリカーサー候補について、その吸着過程や水素還元反応過程を機械学習ポテンシャルを用いた原子レベルシミュレーションで計算解析した結果について報告する