[11p-B21-1~9] 原子層プロセス（ALP：Atomic Layer Process）の解析技術と応用技術（４） | 2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会

セッション詳細

シンポジウム(口頭講演)シンポジウム：原子層プロセス（ALP：Atomic Layer Process）の解析技術と応用技術（４）

2026年9月11日(金) 13:00 〜 16:35

B21 (工学部 B棟)

13:00 〜 13:30

〇阿佐見範之¹、中尾幸久¹、和田幸久¹、祐川光成¹、佐々木雄一郎¹、新井紳太郎¹ (1.Rapidus株式会社)

13:30 〜 14:00

〇芦原洋司¹ (1.KOKUSAI ELECTRIC)

14:00 〜 14:30

〇松尾保孝¹、石旭^1,3、遠堂敬史^1,3、中村圭佑³、西田章浩^1,2 (1.北大電子研、2.（株）ADEKA、3.北大総合イノベ)

14:45 〜 15:15

〇鎌滝晋礼¹、Fitriani W. Sukma²、長嶺一輝^1,2、白谷正治¹ (1.九大シス情、2.九大IMI)

15:15 〜 15:45

〇前田理¹ (1.北大WPI-ICReDD)

15:45 〜 16:00

〇佐藤登¹、玉置直樹¹、筑根敦弘¹、霜垣幸弘¹ (1.東大)

16:00 〜 16:15

〇加藤大輝¹、山田浩樹¹、宇木権一¹、山本康介¹、城俊彦¹、中野雄大¹ (1.東京エレクトロン)

16:15 〜 16:30

〇玉置直樹¹、永井総雅¹、佐藤登¹、筑根敦弘¹、霜垣幸浩¹ (1.東大工)

16:30 〜 16:35

〇百瀬健¹ (1.熊大半導体)