[11p-B21-1~9] 原子層プロセス（ALP：Atomic Layer Process）の解析技術と応用技術（４）

16:30 〜 16:35

[11p-B21-9] クロージング

〇百瀬 健¹ (1.熊大半導体)

キーワード：

原子層成長、原子層エッチング、原子層プロセス

原子層プロセスに関するシンポジウムと研究会セッションが開催され，多数の参加があったことに感謝し，来年秋は熊本大学を会場として，応用物理学会秋季学術講演会が開催され，そこでもALPセッションが開催されることをアナウンスして，閉会とする。