[11p-E201-1~15] CS.6 6.1 強誘電体薄膜 、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェアセッション

16:45 〜 17:00

[11p-E201-15] 強誘電性ノンドープHfO₂ MFMキャパシタにおける異常PVの発生とその解消

〇森田 行則¹、浅沼 周太郎¹、太田 裕之¹、右田 真司¹ (1.産総研)

キーワード：

強誘電性、HfO2、MFMキャパシタ