2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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14:45 〜 15:00
[11p-E206-6]
スパッタ法によるAl
2
O
3
(0001)基板上へのBaSi₂薄膜の形成とBa/Si組成比制御
〇平井 瑞紀
1
、Islam Md. Ariful
1
、竹嶋 暉
2
、幸田 陽一朗
2
、召田 雅美
2
、都甲 薫
1
、末益 崇
1
(1.筑波大院、2.東ソー株式会社)
キーワード:
太陽電池、BaSi2、化学量論比
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