講演情報

[11p-E206-6]スパッタ法によるAl2O3(0001)基板上へのBaSi₂薄膜の形成とBa/Si組成比制御

〇平井 瑞紀1、Islam Md. Ariful1、竹嶋 暉2、幸田 陽一朗2、召田 雅美2、都甲 薫1、末益 崇1 (1.筑波大院、2.東ソー株式会社)

キーワード:

太陽電池、BaSi2、化学量論比