[11p-E301-1~11] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

16:00 〜 16:15

[11p-E301-10] Znターゲットを用いたRF反応性共スパッタリング法
により作製したAZO薄膜の特性に及ぼすAl添加量の影響

〇林 俊孝¹、勝俣 裕¹ (1.明大理工)

キーワード：

AZO、Znターゲット、ドーピング