[11p-N101-1~8] 15.4 III-V族窒化物結晶

13:30 〜 13:45

[11p-N101-1] 高温MOVPE成長によるμPSS基板上へのAlN成長

〇(D)松原 優翔¹、藤井 滉樹¹、林 悠希矢¹、桑原 佑基¹、清水 蒼輝¹、井関 創一朗¹、高島 祐介^1,2、直井 美貴^1,2、永松 謙太郎^1,2,3 (1.徳島大理工、2.徳島大pLED、3.徳島大IPHF)

キーワード：

PSS、MOVPE、AlN