[11p-N101-1~8] 15.4 III-V族窒化物結晶

14:00 〜 14:15

[11p-N101-3] MOVPE法を用いたBGaN結晶成長におけるⅤ/Ⅲ比依存性評価

〇工藤 涼兵¹、井上 翼^1,2、中野 貴之^1,2,3 (1.静大創造、2.静大工、3.静大電研)

キーワード：

BGaN、半導体、中性子検出器