[8a-A13-1~13] 6.3 酸化物エレクトロニクス

11:15 〜 11:30

[8a-A13-9] 大電力パルスマグネトロンスパッタを用いた結晶性SnO₂の低温成膜

〇太田 貴之¹、齋藤 祐太¹、竹中 弘祐²、節原 裕一² (1.名城大理工、2.阪大接合研)

キーワード：

スパッタリング、酸化物半導体