講演情報

[8a-A21-4]60 nmゲートInP-HEMTにおける寄生オーバーラップ容量の定量解析

〇佐々木 太郎1、杉山 弘樹1、星 拓也1、吉屋 佑樹1、尾崎 史朗1、中島 史人1 (1.NTT先デ研)

キーワード:

InP、HEMT、寄生容量

本講演では、NTTの60 nmゲートInP-HEMTにおける寄生オーバーラップ容量を定量的に解析した結果を報告する。また、寄生容量の低減手法についても議論する。