[8a-A21-1~10] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

9:45 〜 10:00

[8a-A21-4] 60 nmゲートInP-HEMTにおける寄生オーバーラップ容量の定量解析

〇佐々木 太郎¹、杉山 弘樹¹、星 拓也¹、吉屋 佑樹¹、尾崎 史朗¹、中島 史人¹ (1.NTT先デ研)

キーワード：

InP、HEMT、寄生容量

本講演では、NTTの60 nmゲートInP-HEMTにおける寄生オーバーラップ容量を定量的に解析した結果を報告する。また、寄生容量の低減手法についても議論する。