講演情報
[8a-A33-10]LFMによる単層MoS2のリップル起因摩擦異方性ドメイン解析と結晶方位可視化
〇松本 昂征1、西村 知紀1、金橋 魁利1、佐久間 芳樹2、⾧汐 晃輔1 (1.東大マテ工、2.NIMS)
キーワード：
LFM、MoS2、MOCVD
我々は近年，摩擦力顕微鏡(LFM)を利用することで，物理的な転写を必要とせずに絶縁性サファイア基板上にMOCVD成膜された単層MoS2最表面のS空孔の高精度定量分析を実証した．また，表面形状像では識別が困難なサファイア基板のステップ・テラス構造とMoS2の粒界をLFMでは明確に識別できる．本研究ではこれらの特徴を生かし，広範囲での結晶ドメイン分析や結晶成長メカニズム解明へと展開するため，マクロスケールから原子スケールまでのLFM観察を行った．