講演情報

[8a-A33-9]WS2成長テンプレートとしてのNa2WO4/WO3前駆体膜を用いた表面平坦 WxOyナノワイヤの準配向成長と結晶・電気特性評価

〇金崎 郁穂1、伊東 良誠1、林 靖彦1、鈴木 弘朗1 (1.岡大院環境生命自然)

キーワード:

遷移金属ダイカルコゲナイド、酸化タングステン、ナノワイヤ

本研究ではWS2ナノリボンアレイのテンプレートとなる,WO3/Na2WO4複合膜を前駆体としたWxOy ナノワイヤの無配向基板上での準配向成長に成功した.原子間力顕微鏡により表面が極めて平坦で扁平形状を有することが明らかになった.またナノワイヤ先端が120度の角度を有する多角形のファセットが観察された.孤立ナノワイヤは絶縁性を示し,WS2を電気的に独立させる成長テンプレートとしての適性が示された.