講演情報
[8a-B11-6]固気混相噴流を用いた膜形成に関するメカニズム解明
〇黒田 涼太1 (1.京セラ株式会社)
キーワード：
成膜技術、PVD、微結晶膜
超音速フリージェットPVD法（SFJ-PVD法）に関する研究成果を発表する。本技術は、固気混相噴流を活用した新規成膜プロセスであり、常温成膜、膜緻密性の制御、直進性などの特長を有する。これまでの研究により、成膜粒子速度や粒子形状、材料物性など各種因子が膜構造へ与える影響を評価し、膜緻密化メカニズムに関する知見を得てきた。本発表では、特に膜の緻密化メカニズムに焦点を当て、材料の拡散係数と粒子表面形状・膜密度との関係を中心に、膜緻密化が進行する要因について詳細に報告する。