講演情報
[8a-N101-10]共焦点光学系時間分解PL計測を用いたInGaN量子井戸におけるキャリア拡散の測定
〇櫻井 裕太1、伊藤 央祐1、山口 敦史1、幸田 倫太郎2 (1.金沢工大、2.ソニーセミコンダクタソリューションズ)
キーワード:
InGaN量子井戸、時間分解PL測定、キャリア拡散
InGaN量子井戸におけるキャリア拡散は、ポテンシャル揺らぎや高転位密度の影響を受けるため、その評価は容易ではない。本研究では、共焦点光学系を用いた時間分解フォトルミネッセンス(TRPL)測定によりキャリア拡散係数を評価した。観測領域径依存のPL寿命を理論解析することで拡散係数を算出し、その励起強度密度依存性を調べた。得られた結果は先行研究と概ね一致し、本手法がInGaN量子井戸のキャリア拡散評価に有効であることを示した。
