[8a-N102-1~11] 18.3 計測インフォマティクス

9:15 〜 9:30

[8a-N102-2] 片面測定データを用いたウエハ両面基準平面度の実用的推定

〇高石 将輝¹、藤村 侑¹、Kevin Operiano¹、前田 進¹、澤田 貴央²、桑原 啓² (1.アイクリスタル、2.神津精機)

キーワード：

計測インフォマティクス、表面形状測定、SORI

片面測定データのみからウエハ両面の基準平面度（SORI）を推定する手法を検証した。形状特徴量と回帰モデルにより、正常ウエハでは高精度な推定が可能であり、計測時間短縮への有効性が示された。一方で非典型形状では精度低下が見られ、形状多様性が課題となる。