講演情報
[8a-N102-5]ベイズ分光エリプソメトリーによる酸化物多層膜の光学情報推定
マドゥラ ロジー1、〇岩満 一功1、髙橋 崇典1、赤瀬 善太郎1、浦岡 行治1、冨谷 茂隆1 (1.奈良先端大)
キーワード：
分光エリプソメトリー、ベイズ推論、酸化物多層膜
分光エリプソメトリーによる酸化物多層膜解析では、同一の測定スペクトルを説明可能な複数の推定解が存在し得るため、推定結果の妥当性評価が課題となる。本研究はTiO₂/SiO₂/Si多層膜の分光エリプソメトリー測定、およびベイズ推論を行うことで、膜厚および光学パラメータの事後確率分布を評価した。その結果、試料中に埋もれたSiO₂界面層を推定し、パラメータ相関を通じて推定結果の不確かさを評価することができた。