講演情報
[8a-PA1-10]回転基板上における液滴挙動が薄膜形成特性に及ぼす影響
〇(B)斉藤 希空1、小林 和也1 (1.日本工業大学)
キーワード：
スピンコーティング
本研究では，スピンコーティングにおける液滴衝突・流動挙動が薄膜形成特性へ及ぼす影響を実験的に検討した。本研究では，回転基板上へ液滴を滴下し，高速度カメラにより液滴の広がり挙動と膜形成過程を観察した。さらに，アンチソルベント法を模擬し，析出挙動との関連も検討した。これにより，液滴挙動と成膜品質の関係を明らかにし，高品質な薄膜形成条件の最適化に向けた知見獲得を目指した。