[8a-PA1-1~31] 1 応用物理学一般（ポスター）

[8a-PA1-16] フォトリソグラフィを用いた計算機合成ホログラム実験の導入

〇笠島 愛莉¹、羽渕 仁恵¹、白木 英二¹ (1.岐阜高専)

キーワード：

半導体教育、計算機合成ホログラム、マスクレスフォトリソグラフィー

半導体人材育成の一環として、本研究では岐阜高専 専攻科におけるフォトリソグラフィを用いた計算機合成ホログラム実験の導入に向けた検討を行う。逆フーリエ変換を用いた設計とフォトリソグラフィによる作製プロセスを中心に、実験内容および実施計画について報告する。