講演情報
[8a-PA1-26]非クリーンルーム環境で手作りする集積回路
〇(B)眞弓 蒼空1、成田 海都1、野口 琉紀哉1、辻 琢人1 (1.鈴鹿高専)
キーワード：
集積回路
これまでに確立したn型ドーパントのリンを含んだスピンオングラスを使ったn型不純物拡散層の形成などの半導体デバイス作製技術を使って，クリーンルームではない一般的な実験室環境で，EE型MOSインバータを多段に接続したリングオシレータで構成される集積回路の作製を試みた．その結果，リングオシレータから発振する出力が得られる見通しが示された．