講演情報
[8p-A21-10]水溶性犠牲層とトポケミカル反応を用いたフッ化セリウム自立膜の作製
〇上垣外 明子1、中野 歩花1、簔原 誠人2、近松 彰1 (1.お茶大理、2.産総研)
キーワード：
フッ化物メンブレン、犠牲層薄膜合成
水溶性犠牲層を用いた酸化物膜の剥離技術は、歪みのない自立膜の作製法として注目されているが、次世代デバイスへの応用が期待されるフッ化物系材料への応用には至っていない。本研究では、犠牲層によるセリウム酸化物膜の剥離と、トポケミカルフッ化反応を組み合わせ、フッ化セリウム自立膜の作製を試みた。膜のシートへの転写後、Ar雰囲気下で反応を行った結果、回折ピークの変化から、フッ化セリウム自立膜の形成が確認された。