講演情報
[8p-A21-16]ミスト化学気相成長法による金属有機構造体配向薄膜の合成
〇(M1)古根村 祐太1、岡 大地1、庄田 伊吹1、井上 裕貴1、廣瀬 靖1 (1.都立大院理)
キーワード：
化学気相成長法、金属有機構造体、薄膜
金属有機構造体は、機能性酸化物との積層による高感度ガスセンサーなどへの応用が期待されている。HKUST-1は代表的なMOFの1つであり、これまでにLBL法や物理気相成長法を用いた配向薄膜の合成が報告されている。本研究では、LBL法と比較して高速成膜が可能な大気圧プロセスであるミスト化学気相成長法を用いて酸化物基板上へのHKUST-1配向薄膜の合成を試みた。