講演情報
[8p-B11-10]微細ACLパターンにおけるWiggling発生メカニズムの解析
〇笠井 大雅1、松井 都2、三浦 真1、桑原 謙一1 (1.日立ハイテク、2.日立研開)
キーワード：
エッチング、MOR、ウィグリング
近年、極紫外線露光技術の進展に伴い、高解像度レジストとして金属酸化物レジスト(MOR)が注目されている。微細なMORパターンは、アモルファスカーボン層(ACL)を介して下層へ転写されるが、ACLエッチング時にラインがうねるWigglingが課題となる。本発表では、パターンのアスペクト比および、MOR膜厚に依存したWigglingの発生メカニズムを報告する。