[8p-B11-1~16] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

17:30 〜 17:45

[8p-B11-13] プラズマ・材料情報科学に基づく機械学習によるSiO₂膜エッチングレート予測モデルの評価

〇(M2)長嶺 一輝^1,2、S.W Fitriani²、堤 隆嘉³、白谷 正治¹、鎌滝 晋礼¹ (1.九大シス情、2.九大JGMI、3.名大低温プラズマ)

キーワード：

プラズマエッチング、機械学習、プラズマ・材料情報科学