講演情報
[8p-B21-2]GAAおよびCFETデバイスの技術動向とLSTCでの取り組み
〇平本 俊郎1,3、若林 整2,3 (1.東大d.lab、2.東京科学大総合研究院、3.LSTC)
キーワード：
先端ロジック半導体、GAA、CFET
生成AI等の爆発的普及と今後のさらなるAIの発展への期待から，半導体産業は空前の活況が続いている．先端ロジック半導体における技術世代の数字は順調に縮小を続けており，デバイスの構造は従来のFinFETからGAA (Gate-all-around)に置き換わった．本講演では，先端ロジック半導体デバイスの技術動向とLSTCにおける研究開発の取り組みを紹介する．