セッション詳細
[8p-B21-1~10]【一般公開】先端ロジック半導体、Si-GAAからCFET、そしてその先へ
2026年9月8日(火) 13:30 〜 17:30
B21 (工学部 B棟)
座長:松川 貴(産総研)、 角村 貴昭(東京エレクトロン)、 多田 宗弘(慶応大)、 松永 範昭(アプライドマテリアルズジャパン)
[8p-B21-7]Si-GAAからCFETへの進化を支える前工程対応レイヤートランスファー技術:IRレーザー層剥離とハイブリッド/フュージョン接合による3次元集積技術の展望
〇山本 宏1 (1.EVGroup)
