セッション詳細
[8p-B21-1~10]【一般公開】先端ロジック半導体、Si-GAAからCFET、そしてその先へ
2026年9月8日(火) 13:30 〜 17:30
B21 (工学部 B棟)
[8p-B21-1]オープニング
〇多田 宗弘1 (1.慶應義塾大学)
[8p-B21-2]GAAおよびCFETデバイスの技術動向とLSTCでの取り組み
〇平本 俊郎1,3、若林 整2,3 (1.東大d.lab、2.東京科学大総合研究院、3.LSTC)
[8p-B21-3]Beyond 2nm 半導体製造に向けた短TAT・クリーンプロセス装置技術開発
〇須川 成利
[8p-B21-4]次世代半導体デバイスに向けた二次元材料研究の進展と課題
〇宮田 耕充1 (1.NIMS)
[8p-B21-5]酸化物半導体の集積デバイス応用に向けた研究動向
〇小林 正治1、角嶋 邦之2、高橋 崇典3、三谷 祐一郎4 (1.東大生研、2.科学大、3.奈良先端大、4.都市大)
[8p-B21-6]新構造・新材料トランジスタにおけるTCADシミュレーション
〇植田 暁子1 (1.産総研)
[8p-B21-7]Si-GAAからCFETへの進化を支える前工程対応レイヤートランスファー技術:IRレーザー層剥離とハイブリッド/フュージョン接合による3次元集積技術の展望
〇山本 宏1 (1.EVGroup)
[8p-B21-8]光電子集積パッケージ技術の最新動向と応用展開
〇竹村 浩一1 (1.アイオーコア)
[8p-B21-9]クロージング1
〇中塚 理1 (1.名古屋大学)
[8p-B21-10]クロージング2
〇齊藤 丈靖1 (1.大阪公立大学)
