[8p-B21-1~10] 【一般公開】先端ロジック半導体、Si-GAAからCFET、そしてその先へ

15:05 〜 15:35

[8p-B21-5] 酸化物半導体の集積デバイス応用に向けた研究動向

〇小林 正治¹、角嶋 邦之²、高橋 崇典³、三谷 祐一郎⁴ (1.東大生研、2.科学大、3.奈良先端大、4.都市大)

キーワード：

酸化物半導体