講演情報
[8p-E219-2]シリコンおけるバレー分離の磁気容量分光測定
〇登坂 仁一郎1、入江 宏1、林 稔晶1、山端 元音1 (1.NTT物性研)
キーワード：
バレー分離、シリコン、容量分光
我々はSi-on-insulatorの一種であるSIMOX基板に作製したMOSトランジスタにおいて電流輸送測定を用い巨大バレー分離が発現することを報告してきた。この測定法では輸送に伴う界面散乱等が測定に影響を及ぼす可能性がある。一方、容量分光測定では状態密度を直接観測できるため輸送特性に存在する影響を排除した定量評価が期待できる。そこで本研究では容量分光測定を用いバレー分離の評価を試みた。