講演情報
[8p-E219-5]エレクトロマイグレーションによる金属ナノ細線破断位置制御メカニズムの解明
〇杉政 慶太1,2、筒井 優貴1,2、菅 洋志1、島 久2、内藤 泰久2 (1.千葉工大、2.産総研)
キーワード：
エレクトロマイグレーション、ナノ構造制御、ナノギャップ
不規則であったエレクトロマイグレーション（EM）による金属ナノワイヤの破断位置の制御を目的とした研究開発であり、金属ナノワイヤ近傍に配置したゲート電極の構造による外部電界の影響を検討した。ノッチ構造の導入により破断位置が制御可能となることを示し、EMが印加電流だけでなく外部電界にも影響を受けることを明らかにした。