[8p-E301-1~22] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

16:15 〜 16:30

[8p-E301-15] (−102), (512)面β型酸化ガリウム基板のTMAHウェットエッチング特性

〇大島 孝仁¹、大島 祐一¹ (1.NIMS)

キーワード：

酸化ガリウム、ウェットエッチング