[8p-E301-1~22] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

18:00 〜 18:15

[8p-E301-21] MBE法による(Al_xGa_1-x)₂O₃成長の第一原理・熱力学的検討

〇富樫 理恵¹、寺内 悠真²、草場 彰³、東脇 正高⁴、熊谷 義直² (1.上智大理工、2.東京農工大院工、3.九大応力研、4.大阪公立大院工)

キーワード：

酸化ガリウム、第一原理計算、熱力学解析