[8p-E301-1~22] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

18:15 〜 18:30

[8p-E301-22] 自律スパッタ法による高品質β-Ga₂O₃エピタキシー

〇若林 勇希¹、小川 友以¹、Romero Franz Benedict¹、大塚 琢馬²、谷保 芳孝¹ (1.NTT 物性研、2.NTT CS研)

キーワード：

自律スパッタ、ベイズ最適化、Ga2O3