[8p-E301-1~22] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

13:15 〜 13:30

[8p-E301-5] RFマグネトロンスパッタ法で成膜したLiドープNiO薄膜の耐熱性評価

〇(M1)松井 駿弥¹、安田 晴信¹、宮本 広信²、佐々木 公平²、山口 智広¹、本田 徹¹、尾沼 猛儀¹ (1.工学院大、2.ノベルクリスタルテクノロジー)

キーワード：

Li、NiO