[8p-E301-1~22] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

14:15 〜 14:30

[8p-E301-8] c面α-(Cr_0.8Fe_0.2)₂O₃テンプレート上のα-Ga₂O₃のハライド気相成長

〇大島 祐一¹、大島 孝仁¹、肖 世玉²、村上 和仁²、今井 克宏²、冨田 崇弘² (1.NIMS、2.NGK)

キーワード：

Ga2O3、Cr2O3、HVPE