講演情報
[8p-E308-10]シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学: ルネサンス (29)
シャローサーマルドナー高温型NO/フォトルミでは窒素濃度も測れない
〇井上 直久1、川又 修一1、奥田 修一1 (1.大阪公大 放射線研究センター)
キーワード：
シリコン結晶、窒素、赤外吸収
シャローサーマルドナーは NO系とONOが提案された。我々は低温型973, 1002cm-1をO(NO)O、855,1064㎝-1をO(NO)と同定。今回801㎝-1(NN)O吸収に隠れた800cm-1吸収を高温型NOと同定。田島らはAlイオン注入発光を提案したが、1.酸素濃度依存性、2.アニール条件で変化、3.注入条件で変化、4.隣接発光が妨害。5.窒素は色々な構造があり複合体形成や発光が変わる。