講演情報
[8p-E308-11]シリコン結晶中の低濃度炭素の測定:ルネサンス (33) 赤外によるポリシリコン測定/フォトルミネッセンス標準化はできなかった
〇井上 直久1、奥田 修一1、川又 修一1 (1.大阪公大 放射線研究センター)
キーワード：
シリコン結晶、炭素濃度、赤外吸収
ポリシリコンの障害もフォノン微分吸収。約1014/㎝3まで室温で測れる。低温測定なら1013/㎝3期待。フォトルミネッセンス法標準化は不能。1.測れるのはMCZの一部酸素濃度、CZもFZも不可。2.測れるのは高抵抗、主力デバイス用は不可。3.検量線データばらつき2倍で誤差30％。4.発光と濃度の関係は非線形で計算式は近似。5.電子線の電流と時間不明で照射不能。6.濃度既知の標準試料で装置校正必要。