講演情報
[8p-E310-6]次世代半導体製造を加速する設計・製造連携
〜AIエージェントが繋ぐ先端プロセス製造とチップ設計〜
〇鶴﨑 宏亀1 (1.ラピダス株式会社)
キーワード：
短TAT、ML/AI (Machine Learning and Artificial intelligence)、設計環境
2nm世代以降のPPA最大化と最速な市場投入には、量産Fabの制御技術を見据えた設計・製造連携が不可欠である。本講演では、超短TATを実現する弊社の全自動枚葉搬送Fabをベースとして、設計工程での設計期間最適化を実現するRaadsと製造データの設計へのフィードバックを実現するDMCOを紹介し、次世代半導体エコシステムの展望を議論する。